주요 구성 및 성능
- Cold Emmission Electron Source
- 다양한 Operation mode로 다양한 시료 관찰이 가능함.
- Two detector system - 시료에 따라 사용자가 선택하거나 두 image를 섞을 수 있음.
- SEM / EDX Integrated system - SEM / EDX Image를 동시에 비교 분석할 수 있음.
- 분해능 : 1.5 ㎚ ( at 15 ㎸), 2.1 ㎚ ( at 1 ㎸)
- 가속전압 : 0.5 ~ 30 ㎸
- 배율 : X 20 ~ X 500,000
- 최대시료크기 : Ø 150 ㎜, thickness 10 ㎜
제목을(를) 입력하세요.
- EDX 분석 : 재료 시료의 성분을 정량 · 정성 분석
- 금속, 광물, 무기물, 고분자 재료, 세라믹, 시멘트, 유리, 플라스틱, 고무, 석유, 도료, 의생물, 반도체 IC, 집적회로, 전자부품 등 고체, 분말, 박막 시료의 형태관찰
- 품질관리에 2차 전자상, 원소분석에 반사 전자상이나 X-선 화상으로 응용 가능.